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完美的拋光表面包含了低粗度、低變質(zhì)層等特性,除了完美的拋光表面外,也希望有方法可以提高拋光的工作效率。
由于拋光是磨粒對
工件表面進行加工,因此磨粒的特性,如與工件間的吸附能力、磨粒剛性與磨粒外型,就成了直接影響加工結(jié)果的原因。
為了能夠深入了解這些變數(shù)的影響,所以使用分子動力學(xué)進行電腦模擬。為了顧及電腦模擬的效率與精確度,在模擬剛性過程中所使用的積分時間只有 ,
定使用移動分界法以節(jié)省模擬時間。對于剛性與吸附系數(shù)的調(diào)整,則是利用修改位能函數(shù)的方法來達成模擬。
對于磨粒外型,則又因其運動型態(tài)的不同分為磨�;瑒訒r之外型與滾動時之外型兩種。模擬結(jié)果發(fā)現(xiàn)剛性對于以滾動為運動狀態(tài)的磨粒,其變質(zhì)層并無明顯的趨勢;
滑動的磨粒如果其剛性越小,則變質(zhì)層表現(xiàn)會較好。但是如果因為剛性過弱,而使磨粒產(chǎn)生嚴重變形時,
則其變質(zhì)層與表面粗度都會很差。在磨�;瑒又庑偷哪M,如果前方角度較大,在低吸附系數(shù)下會因有較多的表面原子可移動到磨粒底部,
而增加其變質(zhì)層原子數(shù)與深度;如果底長變長,則會因接觸面積較大,使變質(zhì)層變多。磨粒滾動時之外型的模擬,坑洞磨粒由于其幾何外型的因素,
與圓球磨粒相比,只需較小的吸附系數(shù)就可黏附起工件原子以增加移除量,但其表面粗度較差。
選用剛性低、接觸面小與前方角度大的磨�?梢越档妥冑|(zhì)層厚度,但其表面粗度會因此變差;選用凹凸不平的磨粒則可以增加移除量,但其表面粗度也會變差
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